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石家莊高純氮?dú)馀渌?/div>
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高純氮?dú)饧兌龋?9.999%
純化方法:
氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?br/>
用途:
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
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